（1）預處理
有機廢氣可能會含有少量的粉塵，所以在廢氣進入活性炭吸附裝置前還須進行預處理，否則會堵塞活性炭微孔，影響吸附效果。預處理設備為干式過濾器，分二級過濾（G4初效+F5中效)，具有容塵量大、阻力小等特點。
（2）活性炭吸附
經(jīng)過前面的預處理后，廢氣通入活性炭吸附/脫附塔進行吸附處理。利用具有大比表面積的活性炭將有機溶劑吸附在活性炭表面，去除廢氣中的有機物，達到凈化氣體的作用，經(jīng)處理后的潔凈氣體經(jīng)過風機、煙囪高空排放。
（3）活性炭脫附階段
當活性炭吸附飽和后，切換到脫附模式，啟動脫附風機對該吸附床脫附。脫附風機引入的新鮮空氣首先經(jīng)過換熱器和電加熱室進行加熱，將新鮮空氣加熱到接近70-80℃進入活性炭床，炭床受熱后，活性炭吸附的溶劑被解吸脫附出來。
（4）催化燃燒階段
脫附出來的廢氣流量小、濃度高，經(jīng)風機送入到換熱器，然后進入預熱器，在電加熱器的作用下，使氣體溫度提高到200-300℃左右，再進入催化燃燒床。有機氣體在催化劑的作用下發(fā)生無焰燃燒，被氧化為CO2和H2O，同時放出大量的熱，氣體溫度進一部升高，該高溫氣體再經(jīng)過催化燃燒室前的換熱器預熱未經(jīng)處理的有機氣體；從換熱器出來的氣體再通過新風入口的換熱器對脫附新鮮空氣進行加熱。兩處換熱器正常工作后，電加熱設備可停止加熱，節(jié)約能耗。終氣體通過煙囪引高排放。